採用日本氟素公司導電性Teflon Coating的
Vacuum Stage案例：

 

TFT CELL製程

● LC dispensing

● Seal dispensing

● US Clean stage

● ODF transfer stage

● PI Printing Stage

● Rubbing stage

● Buffer stage

● Cutting table

● Inspection stage...

 

TFT Array製程

● Exposure

● Slot Coater Stage

● ODF Stage

● Rubbing Stage

● Alignment table...

 

Color Filter製程

● Spin Coater Stage

● HP/CP stage

● Cleaning Plate

 剝離帶電防止膜的特點：

●

 

 

特殊導電性氟素Coating、吸著力低、沒有粘性、摩擦係數低，與玻璃基板的相互作用小，剝離時產生的靜量
也會隨之變少
●大量減少玻璃基板上的有機物或Si和SiO2的微粒粘著
●Teflon Coating材質柔軟性保護玻璃基板，減少摩擦
●長期使用不會產生ESD問題，減少Vacuum Stage再處理(refurbish)的情況，增長使用壽命

●

 

耐溶劑性適用於現有的Vacuum Stage、Vacuum Chuck...
Alumite Stage經過3個月
使用即產生表面出現光澤現象
此時玻璃基板不能順利經由
lift pin頂起或容易有破片產生
此即為Alumite Stage與玻璃
基板的剝離帶電所造成的
靜電破壞問題

 

 

Nippon Fusso導電氟素塗布層與其他
剝離帶電防止材料靜電消散效果比較