H2O2濃度In-Line監測計主要特點 :

‧ 採用超音波技術,精準度高.
‧ 適用Oxide CMP, Metal CMP Slurry
‧ 即時取樣(0.6 sec interval)掌握H2O2濃度變化
‧ 免保養以及耗材更換
‧ 設定簡單自動測量
‧ In-line 即使測量 (Flow cell sensor)
‧ 4~24ma 或RS232監控輸出功能
‧ 無污染PFA材質管路使用 [material : PFA]
‧ 客製檢量線來滿足不同需求 [Data ROM]