清洗設備&線上濃度計產品與服務

2020-08-17

設備客製化製作、設備治具修改加工、設備自動控制改善、機構優化改造服務


APR板超音波清洗機
● G4~G6 APR板清洗
● 製程：NMP Ultrasonic Tank × 2~3槽
DI Rinse Ultrasonic Tank × 1槽
Air Knife Tank × 1槽
● 搭配In-line超音波濃度計監測準確
控制洗淨效果

Cassette卡匣清洗機
應用：Cassette清洗
● 製程：In C/V→清洗槽→烘乾槽
→Out C/V
● 方式：Robot Type、In Line System
● Tact time：10min(G5)~~15min(G8.5)
● 連接方式：Stocker、AGV、MGV

注液晶/再配向清洗 ; Parts零組件洗淨
● 玻璃面板/ Parts尺寸 : 1.1”~18”
● 製程：
耐化清洗槽304~316L
超音波輔助清潔
全自動化或半自動化客製規劃
化學品監測以達最佳化製程效能
管路系統與機構設計

傳動機構設計/製作

清洗加熱槽設計/製作

馬達、管路修改
自動控制

傳送機構整修

配電與自動控制程式

超音波清洗設計修改
Fuji Ultrasonic In-line超音波濃度計

- CMP Slurry中H2O2濃度測定

- 濕製程化學品濃度量測: HF,NH3,
H2O2,KOH,NH4OH,HCl,H2SO4…等

-微影高純度化學品:光阻,光阻稀釋劑
Stripper、顯影劑(TMAH,TEAH,KOH)

-其他(橙汁/咖啡/玉米澱粉/澱粉)量測
雙成份Model 53 In-Line超音波黏度計
防爆型Model 63 In-Line超音波濃度計

- Model 53雙成份機型可同時量測:
TMAH (KOH) + PR, H2SO4,+HF…等

- Model 63防爆機型可量測:
NMP、MEA、PGMEA…等溶劑

- 另有手持式超音波濃度計, 高精度超音波濃度計…等機型之選擇
總公司：新竹縣竹北市台元一街8號3樓之9
電話：03-5525865 傳真：03-5525699
謝豐光(分機 610) e-mail: alanhsieh@sun-opto.com
陳國偉(分機 601) e-mail: danielchen@sun-opto.com

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