表面粒子污染&環境落塵Real-Time監測系統

2020-12-04

表面粒子與環境落塵之污染已證實對精密電子與零件部品之品質有重大影響。
敝公司 ”表面粒子污染&環境落塵 Real-Time監測”可有效驗證與找出particles污染源,提升產品品質與良率。


1. 由於無塵室中: 較小的particle (<5um) 才可經由氣流帶動,藉由HEPA/ULPA濾網中去除這類懸浮粒子(airborne particle),較大的particle (>10um) 則會沉降於產品與環境表面。在ISO-14644-9、 ISO14644-17 (draft) 規範所建議對以下進行量測:

• 表面粒子潔淨度等級定義與量測
• 環境落塵監測

2. 表面粒子污染&環境落塵Real-Time監測產品應用:

  敝公司目前備有上述量測相關技術應用說明資料若有興趣請不吝來電指教。