Particle-free / 自動正負離子平衡 靜電消除設備(Alpha Ionization System)

2021-05-17
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半導體製程靜電消除



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奈米製程曝光設備、

光罩製程/光罩儲放靜電消除

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Wafer清洗/ SRD製程

靜電消除

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SEM/AFM檢查

靜電消除

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光罩清洗製程靜電消除

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爐管- Buffer暫存區/晶圓傳送靜電消除

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爐管- Buffer暫存區/晶圓傳送靜電消除




Particles-free/正負自動平衡靜電消除設備 (業界唯一)



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P-2001靜電消除棒

可提供4⁓144”各式尺寸

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P-2042微型高效靜電消除器

近距離- 0V靜電平衡使用

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2U 500/ 400微型化高潔淨靜電消除器

近距離- 0V靜電平衡使用

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2021/ 2031 靜電消除器

適用N2, CDA氣體靜電消除

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Alpha Boost靜電消除器

長距離 Load/Unload區使用



 

半導體封裝測試製程靜電消除



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IC測試機台、De-taping製程與封裝機台靜電消除


玻璃面板 / 光學膜 / 網印製程靜電消除

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玻璃面板-光學薄膜-網版印刷靜電消除設備

 

磁碟 / Disk Media / Parts Clean製程靜電消除



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磁碟機/光學零件生產靜電消除


化學品 /藥品粉末防爆型靜電消除



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化學品/藥品粉末防爆型靜電消除

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