節電 / 減碳 Alpha靜電消除設備 無Particles產生、正負電自動平衡 / 無須校正_SEMI

2022-04-06

image001.png節電 / 減碳 Alpha靜電消除設備
無Particles產生、正負電自動平衡 / 無須校正
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Alpha IonizerCorona Ionizer B廠商
Ionizer安裝數量1,000支1,000支
消耗功率(Watt/pcs)033.5 kW (1,000 pcs消耗功率)
年度耗電量(kW･h) / @8,760 Hours0289,440 kW･h
年度電費 @NT$ 3/每度電費計算0NT$ 868,000
Particles產生不產生Particles產生Particles

 

Alpha Ionizer半導體製程靜電消除應用

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曝光 / 光罩清洗製程 / 光罩儲放
Alpha Ionizer靜電消除
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光罩清洗製程/
Alpha Ionizer靜電消除
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Spin Rinse Dry製程
Alpha Ionizer靜電消除
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爐管設備靜電消除
Alpha Ionizer靜電消除
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SEM / AFM檢查靜電消除
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IC封裝Wafer De-taping
Alpha Ionizer靜電消除
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MultiTest Handler
Alpha Ionizer靜電消除
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PVD設備EFEM晶圓傳送
Alpha Ionizer靜電消除

 

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P-2001 Alpha Ionizer / 4 ~144 inches各式長度

加裝CDA氣體可進行長距離靜電消除效率

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1U400 / 2U500 / P-204微型Alpha Ionizer
狹窄空間、或置入機台內載具靜電消除
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P-2021 P-2031 Alpha Ionizer
適用N2、CDA氣體靜電消除

 

更多產品資訊請參閱連結內容：www.sun-opto.com

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