生技/藥廠  醫院無塵、無菌測試

電子/半導體/光電廠房 無塵室& Stocker測試

氣流可視化測試

N₂/ CDA 潔淨度測試

潔淨度測試

溫度、濕度測試

濾網洩漏測試

濾網 PAO 效率測試

潔淨度測試

(高流量M³/分鐘)

濾網風速測試

噪音、照度測試

地板導電度測試

表面 Particles 微粒污染測試

   無塵室測試服務項目：

♦ Particles檢測範圍：

       金屬粒子：5µm～3,000µm

       非金屬粒子：25µm～3,000µm

       纖維：50µm～3,000µm

   • 濾網氣流速度測試

•    • 濾網洩漏測試、濾網PAO效率測試
•    • 照度、噪音、壓差、溫溼度
•    • 潔淨度測試、回復力測試

•    • 地板導電度測試、Body Walking

        Voltage Test、防靜電材料測試

•    • 氣流可視化測試
•    • 高壓氣體測試…等各項測試服務

晶圓/光罩 Stocker潔淨度測試   行進中人員帶電(Body Voltage)測試

環境Particles 落塵 Real Time監測

• • ♦ Particles檢測粒徑範圍：15～1,000µm
  • ♦ 取樣檢測時間：每5 分鐘檢測一次
  • ♦ 檢測原理：光學全像技術 (3D Laser Holography)

•    • Stocker 濾網洩漏測試           • 人員防靜電著裝於導電地板
•    • Particles 潔淨度測試               行走狀態帶電電壓測試

手套隔離操作台(Isolator)測試

高壓氣體潔淨度測試

• 濾網洩漏測試

• • 溫度、溼度、氣流 
•    流向測試

• • • Particles潔淨度測
  •   試

• • 高壓氣體偵測範圍：0.1⁓5.0 μm
• • 取樣流量: 0.1 SCFM

   測量壓力: 40~150 PSI

• • 高壓氣體如: N₂、Ar、
•    CDA…等

各式惰性氣體 Particles潔淨度量測

更多產品資訊請參閱連結內容: www.sun-opto.com