PartSens表面潔淨度檢測

PartSens表面Particles潔淨度檢測主要目的：

• ① 對潔淨室相關製程環境的Particles污染管理。
• ② 表面潔淨等級評定(Surface Cleanliness of Particles)。
• ③ 檢查工作區/製程設備在生產前/後的表面Particles

潔淨度。

• ④ 對工作區/製程設備在清潔後的表面清潔效率評鑑。
• ⑤ 設定正確operator對工作區/製程設備的清潔週期。

提供表面Particles檢測展示

測試(Demo Test)歡迎來電安排 !

應用案例 (Application Note) :

① IC封裝鍍膜暫存區執行表面粒子檢測，Run貨前(未清潔)檢測出Particle高，執行Pre-Run清潔後，有效降低Particles污染數量。

1. ② 在鍍膜製程前檢(Pre-check)工作台執行表面粒子檢測，Particle數值偏高，進行清潔後有效降低Particles污染數量。

③ Run貨後1小時，再次進行表面Particle潔淨度檢測，Particles污染數量明顯增加。此區域的清潔週期須少於1小時，以降低對產品污染。

無塵室中對產品造成污染源來自:

人員、手套、無塵服、工作台/ 產品暫存區 / 機台設備…等               

檢測範圍：

非金屬性質     5㎛ ~ 3000㎛

金屬性質      25㎛ ~ 3000㎛

纖維性質      50㎛ ~ 3000㎛

更多產品資訊請參閱連結內容: 表面粒子計數器PartSens & 落塵監測APMON