靜電消除設備 Alpha Ionizer / 靜電消除器效能監控系統

● 次世代 Particle free、離子自動平衡式靜電消除設備
● 靜電消除器效能 Real Time 監測系統- Ionmaster 1000

靜電門禁監測 /人員、工作台靜電接地監測

● 人員靜電接地、機台工作台靜電接地監測、靜電高阻抗計

minimal Fab 研發 /小批量型半導體製程設備

● 使用 0.5” wafer 在 minimal Fab 半導體製程設備上做研發產品驗證
● 無需設置在無塵潔淨環境、快速進行產品試做驗證、較低投資成本費用
● 應用於 MEMS、光電半導體…等小批量，與多樣性產品生產

線上 (In-Line)濃度計 / 黏度計監測

● 無塵紙/導電紙/無塵筆記本與檔案夾/無塵複寫紙/標籤紙/便利貼

● 防靜電 L 型夾與護貝膜/導電紙/防靜電包裝袋
● IC 晶圓保護間隔紙/玻璃與金屬框墊片
● Kimwipe 擦拭紙/防割、耐熱手套
● 無塵衣帽鞋/手套/口罩/無塵室吸塵器/晶圓吸筆

無塵擦拭棒 / 防靜電清潔滾輪與設備

● 適用於半導體封裝、CMOS sensor、光纖通訊產業
● Particle 粒子去除專用黏筆/黏塵滾輪/Stick Cleaner 拋棄式黏棒

全氟化(FFKM) / 氟化橡膠(FKM)密封材料

● 半導體、玻璃面板製程: 薄膜、蝕刻、濕製程、Pump 管線
● 優異表面處理、電漿轟擊下低 Particles 產生量

● 極佳耐電漿能力,依需要選擇: 耐熱性、耐化學藥品性各種材料

無塵室落塵監測 / 表面粒子污染檢測 / 無塵室測試 /人員帶靜電測試

● ISO14644-17 Real Time 監測：APMON 落塵監測分析與防治
● ISO-14644-9, -13/ VDA19.2 產品表面 particle 污染粒徑分布、產品與工作區域清潔前後之清潔效率與清潔頻率分析評估