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AOI檢查設備
AOI檢查設備
詳細介紹:
| LCD / OLED面板檢查設備 |
CF AOI Inspection System for TFT-LCD
| MICRO Inspection System
|
Mask Particle Inspection & Repair
| Evaporation Particle AOI
| ENCAP Inspection
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APR 板超音波清洗機
Cassette Cleaner卡匣清洗機
LCD Cassette卡匣清洗機 ● 應用：LCD G5 ~ G8.5 Cassette清洗 ● 製程：In C/V → Washing Chamber → Dry Chamber →Out C/V ● 製程方式：Robot Type、In Line System ● 清洗方式：HP(1Mpa) shower (Spin Type) ● 烘乾方式：Hot Air(80度) + CDA Blower(Spin Type) ● Tact time：12 min.(G5) ~ 25 min.(G8.5) ● 連接方式：Stocker、AGV、MGV APR 板超音波清洗機 ● G4 ~ G8.5 APR板清洗 ● 型式： 3 ~ 5清洗槽 (浸泡&清洗) ● 製程： NMP Ultrasonic Tank × 1 ~ 3槽 DI Rinse Ultrasonic Tank × 1槽 Air Knife Tank × 1槽 ● 搭配In-line超音波濃度計監測可準確控制洗淨效果 注液晶後清洗機&再配向機台 ● 玻璃面板尺寸 : 1.1" ~ 18" ● 傳送高度 : 950 ± 10 mm ● 機台尺寸：16,031 × 2,200 × 2,372 (mm) ● 製程： Loader / Un-loader Detergent U/ S Tank × 2 DI Rinse U/ S Tank × 4/ Hot DI × 1 Oven station × 7/ Cooling station × 1 超音波精密零件清洗機 ● TFT-LCD各世代精密零件超音波浸泡式清洗 ● 製程： NMP / IPA / Acetone / KOH/PGMEA ...等 Ultrasonic Tank DI Rinse Air Knife
LCD面板乾蝕刻設備
LCD / OLED面板乾蝕刻設備 ● INVENIA公司擁有G4~G8.5各系列乾蝕刻機台設計、 製造、 與製程應用實績與經驗。 ● INVENIA LCD面板蝕刻設備適合於各式電漿產生模式 ： ECCP、 PE/RIE/Dual、ICP...等電漿模式， 各式製程應用包含 ：a-Si、 LTPS、 Oxide...等。 ● AOI檢查設備使用視覺系統來檢測和分類調查缺陷。 （Open / Short / Particle等）。 G10.5 ~ G4 ICP Dry Etcher G6 ICP for Flexible OLED G8+ ICP for OLED TV
