靜電消除設備Alpha Ionizer /靜電門禁監控系統

• • Particle free、離子自動平衡式靜電消除設備
• • 半導體製程設備Alpha Ionizer靜電消除設備
• • 人員靜電接地、機台工作台靜電接地監測、靜電高阻抗計

全氟化(FFKM) /氟化橡膠(FKM)密封材料

• 半導體、玻璃面板製程: 薄膜、蝕刻、濕製程、Pump管線
• • 優異表面處理、電漿轟擊下低Particles產生量
• • 極佳耐電漿能力,依需要選擇: 耐熱性、耐化學藥品性各
•   種材料
• • Particle粒子去除專用黏筆/黏塵滾輪/Stick Cleaner拋
•   棄式黏棒

無塵擦拭棒  /防靜電清潔滾輪與設備

• • 適用於半導體封裝、CMOS sensor、光纖通訊產業
• • Particle粒子去除專用黏筆/ Stick Cleaner拋棄式黏棒
• • 自動清潔滾輪設備/ 手動黏塵滾輪

無塵與防靜電產品 / INTERCEPT防銹/防靜電長效型儲存包裝材

• • 無塵紙/導電紙/無塵筆記本與檔案夾/無塵複寫紙/標籤
•   紙/便利貼
• • 防靜電L型夾與護貝膜/導電紙/防靜電包裝袋
• • IC晶圓保護間隔紙/玻璃與金屬框墊片
• • Kimwipe擦拭紙/防割、耐熱手套
• • 無塵衣帽鞋/手套/口罩/無塵室吸塵器/晶圓吸筆

無塵室落塵監測/表面粒子污染檢測 / 無塵室測試 /人員帶靜電測試

• • ISO14644-17 Real Time監測：APMON落塵監測分析
•   與防治
• • ISO-14644-9, -13/ VDA19.2產品表面particle污染粒徑
•   分布、產品與工作區域清潔前後之清潔效率與清潔頻率
•   分析評估

超音波濃度計/黏度計 In-line監測

• • CMP slurry濃度/CMP slurry H₂O₂濃度監測
• • 濕製程化學品濃度監測: HF、H₂SO₄、NH₃、H₂O₂

   Stripper :TMAH、TEAH、KOH…等In-line濃度監測

minimal Fab研發 /小批量型半導體製程設備

• • 使用5” wafer在minimal Fab半導體製程設備上做研發
•   產品驗證
• • 無需設置在無塵潔淨環境、快速進行產品試做驗證、較
•   低投資成本費用
• • 應用於MEMS、光電半導體…等小批量，與多樣性產品
•   生產