Alpha Ionizer靜電消除

• ● 自動平衡正、負放電離子(zero balance)
• ● 可連續操作使用一年、無須校正
• ● 不需清潔放電針尖、沒有particle污染問題
• ● 使用Po-210元素產生ionization 可用於一般生產環境、或機台設備中
• ● 快速Decay time < 6 sec @ 12”50fpm
• ● 適合超潔淨16nm或更先進製程環境要求：Low swing voltage、No particles產生
• ● 獲晶圓大廠、及各先進製程設備與機台採用的靜電消除裝置

Controller

Puck

 

AlphaBoost Ionizer：

• ● 依使用需求最大可串接4組heads
• ● 可應用於常溫0~80oC或大溫度範圍(-55~165oC)
• ● 可應用於較遠距離

P-2001 Linear 2.25m Ci per inch, Size from 4 inch to 144 inch

• ● 自動平衡正、負放電離子(zero balance)
• ● 可連續操作使用一年、無須校正
• ● 不需清潔放電針尖、沒有particle污染問題
• ● Activity: 5mCi (185 MBq)
• ● 輕小型Alpha ionizer重量14g，直徑3.2cm 適合安裝於機台內部ionization應用
• ● Decay Time:1.2 S (1,000~100V @1.5")
• ● 獲晶圓大廠tsmc、及各先進製程設備與機台採用的靜電消除裝置

P-2042 Nuclespot ionizer安裝示意圖

    Alpha Ionizer系列    

• ● 風扇Ion blower
• ● 靜電棒Linear ionizer
• ● 氣槍型Air Gun Kit support N2/CDA Gas .Ionizer
• ● AlphaBoost Ionizer

Alpha ionizer設計與alpha particle產生原理

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• Alpha ionizer輻射量安全性紙片
  即可阻絕alpha ion穿透