表面微粒子計數器 - PartSens 表面粒子潔淨等級評估 Surface Particle Cleanliness

應用

• ♦製程後及清潔後的表面Particles值與表面潔淨等級 (SCP grade level)
• ♦清潔後的工作區表面清潔效率
• ♦作業活動改善/清潔方法/清潔頻率最適化評估
• ♦ISO 14644-9
• ♦控制潔淨室中人員、設備、環境的表面潔淨等級，降低接觸particle和造成particle轉移的污染風險。
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  • • ★檢測項目：粒子大小、數量、種類

      ★Particles檢測範圍：

                                          非金屬性質        5 um ~ 3000 um

                                       金屬性質          25 um ~ 3000 um

                                       纖維性質          50 um ~ 3000 um
      

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VDA19.2／ISO14644-9, 14644-13規範 產品表面潔淨度分析與清潔：    ● 檢測產品表面Particle汙染粒徑大小與污染來源之分析  ● 產品／工作區域清潔前、後清潔效率與清潔頻率／週期之判定