高壓氣體潔淨度檢測
●MLPC-101HP偵測範圍:0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0μm
●取樣流量: 0.1SCFM/
  測量壓力: 40~150PSI
●0.1之Sensitivity at 0.1CFM直接量測高壓氣體particle潔淨度，如: N2、Argon、XCDA...等各式惰性氣體潔淨度