VDA19.2／ISO14644-9, 14644-13規範產品表面潔淨度分析與清潔：
● 檢測產品表面Particle汙染粒徑大小與污染來源之分析 ● 產品／工作區域清潔前、後清潔效率與清潔頻率／週期之判定
