UV靜電消除設備

    IUV-303 特點：    

• ● 可在低真空環境下(10 ^-3 ～ 1,000 torr)或N₂Gas中進行 ionization靜電消除。
• ● 利用氣體分子的multi-photon absorption現象產生ionization。
• ● 快速的Decay Time： Offset voltage：0 volt。
• ● Low maintenance僅需每2,000~3,000小時更換UV Lamp。
• ● 可應用於：HDD Al media Sputtering、LCD Glass CVD process chamber、Touch panel ITO sputtering...等製程機台靜電消除。
•  

LCD Glass CVD Process

SEM e-Beam Process

HDD Al Media Sputtering