LCD / OLED面板乾蝕刻設備

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INVENIA公司擁有G4~G8.5各系列乾蝕刻機台設計、 製造、 與製程應用實績與經驗。

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INVENIA LCD面板蝕刻設備適合於各式電漿產生模式 ： ECCP、 PE/RIE/Dual、ICP...等電漿模式， 各式製程應用包含 ：a-Si、 LTPS、 Oxide...等。

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AOI檢查設備使用視覺系統來檢測和分類調查缺陷。 （Open / Short / Particle等）。

G10.5 ~ G4 ICP Dry Etcher

G6 ICP for Flexible OLED

G8+ ICP for OLED TV