LCD Cassette卡匣清洗機
●應用：LCD G5 ~ G8.5 Cassette清洗

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製程：In C/V → Washing Chamber → Dry Chamber →Out C/V
●製程方式：Robot Type、In Line System
●清洗方式：HP(1Mpa) shower (Spin Type)
●烘乾方式：Hot Air(80度) + CDA Blower(Spin Type)
●Tact time：12 min.(G5) ~ 25 min.(G8.5)
●連接方式：Stocker、AGV、MGV
 APR 板超音波清洗機
●G4 ~ G8.5 APR板清洗
●型式：3 ~ 5清洗槽 (浸泡&清洗)

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製程：

 

 

NMP Ultrasonic Tank × 1 ~ 3槽

DI Rinse Ultrasonic Tank × 1槽

Air Knife Tank × 1槽

●搭配In-line超音波濃度計監測可準確控制洗淨效果
 注液晶後清洗機&再配向機台
●玻璃面板尺寸 : 1.1" ~ 18"
●傳送高度 : 950 ± 10 mm
●機台尺寸：16,031 × 2,200 × 2,372 (mm)

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製程：

 

 

 

Loader / Un-loader

Detergent U/ S Tank × 2

DI Rinse U/ S Tank × 4/ Hot DI × 1

Oven station × 7/ Cooling station × 1

 超音波精密零件清洗機
●TFT-LCD各世代精密零件超音波浸泡式清洗

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製程：

 

 

 

NMP / IPA / Acetone / KOH/PGMEA ...等

Ultrasonic Tank

DI Rinse

Air Knife