表面Particles微粒污染監測、環境Particles落塵Real Time監測
2022-03-15表面Particles微粒污染監測、環境Particles落塵Real Time監測
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PartSens：表面Particles微粒污染監測
• 檢測項目：粒子大小、數量、種類
• Particles檢測範圍：
金屬粒子：5um～3,000um
非金屬粒子：25um～3,000um
纖維：50um～3,000um
• 取樣檢測面積：2.68cm2 (19.36 mm x 13.82 mm)
將表面潔淨度·清潔效果 完全數據化
• 相關國際標準：ISO14644-9、13&VDA19.2
快速量測出附著於產品表面Particles
污染粒子的直徑、數量，製作出統計報表
可區別粒子的種類，依照其屬性：金屬、非金屬、或纖維性質，以不同顏色表示之
APMON：環境Particles落塵Real-Time監測
即時監控大型粒子的落下動態過程
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• Particles檢測粒徑範圍：15～1,000um
取樣檢測時間：每5 分鐘檢測一次
• Sensor量測取樣面積：25cm2 (4.2cm2 x 6)
• 檢測原理：光學全像技術 (3D Laser Holography)
• Sensor訊號傳送：有線網路、或藍芽2.0
每台主機可對應連接2台檢測Sensors
• 量測取樣玻璃載盤壽命：約3個月更換 (視環境潔淨度周期長短有所不同)
取樣檢測時間：每5 分鐘檢測一次
• Sensor量測取樣面積：25cm2 (4.2cm2 x 6)
• 檢測原理：光學全像技術 (3D Laser Holography)
• Sensor訊號傳送：有線網路、或藍芽2.0
每台主機可對應連接2台檢測Sensors
• 量測取樣玻璃載盤壽命：約3個月更換 (視環境潔淨度周期長短有所不同)
每五分鐘、Real-Time自動監測大於
15um以上Particles落塵粒子以找出污染源
污染粒子的直徑與數量製作出統計報表
監測並分析Particles落塵粒子的直徑與
數量，改善製程、人員作業行為減少污染
更多產品資訊請參閱連結內容: www.sun-opto.com
