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節電/ 減碳/無污染Alpha靜電消除設備 無Particles產生、正負電自動平衡/無須校正 |
| NRD P-2001 Alpha Ionizer by NRD | Corona高壓針尖放電靜電消除器 A廠商 |
Alpha Ionizer 節電能力比較 |  |  |
| *以安裝1,000 pcs Ionizer計算 | 不銹鋼Stainless Steel材質 無電荷殘餘-正、負電完全平衡 | ABS chassis塑膠材質 正/負電不完全中和可能有電荷殘留 |
| Alpha Ionizer | Corona Ionizer A廠商 | | Ionizer安裝數量 | 1,000支 | 1,000支 | | 消耗功率(Watt/pcs) | 0 | 33.5 kW (1,000 pcs消耗功率) | | 年度耗電量(kW･h) / @8,760 Hours | 0 | 289,440 kW･h | | 年度電費 @NT$ 3/每度電費計算 | 0 | NT$ 868,000 | | Particles產生 | 不產生Particles | 產生Particles |
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| Alpha Ionizer半導體製程靜電消除應用 | |
 |  |  |  | 曝光/光罩清洗製程 /光罩儲放 Alpha Ionizer靜電消除 | 光罩清洗製程/ Alpha Ionizer靜電消除 | 晶圓Spin Rinse Dry製程 Alpha Ionizer靜電消除 | 爐管設備靜電消除 Alpha Ionizer靜電消除 |  |  |  |  | SEM / AFM檢查靜電消除 | IC封裝Wafer De-taping Alpha Ionizer靜電消除 | MultiTest Handler Alpha Ionizer靜電消除 | PVD設備EFEM晶圓傳送 Alpha Ionizer靜電消除 |
 |  |  | P-2001 Alpha Ionizer 4~144 inches各式長度加裝CDA氣體可進行長距離靜電消除效率, 不銹鋼材質可對應半導體潔淨環境應用 | 1U400 / 2U500 / P-2042 微型Alpha Ionizer 狹窄空間、或置入機台內載具靜電消除 | P-2021 P-2031 Alpha Ionizer 適用N2、CDA氣體靜電消除 |
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