全氟化橡膠/氟化橡膠系列

From Sun-Opto Performance Elastomers       半導體/面板 薄膜/蝕刻/濕製程應用

尚鈦光電-PERFREZ全氟化(FFKM)與氟化橡膠(FKM) O-Ring產品線

6022 硬度  (Shore A) 78 耐熱基準值 (°C) 280 全氟化(FFKM)橡膠料產品：主要針對含氟及含氧之電漿環境特別開發,具有低微粒發生特性。 6071 硬度  (Shore A) 80 耐熱基準值 (°C) 270 全氟化(FFKM)橡膠料產品：應用於濕製程環境,對於多種腐蝕性液體及有機溶劑有優異之耐藥特性。 6131 硬度  (Shore A) 70 耐熱基準值 (°C) 300 全氟化(FFKM)橡膠料產品：主要應用於嚴苛半導體環境,在高溫製程中密封特性極佳。 6040 硬度  (Shore A) 72 耐熱基準值 (°C) 275 半導體級水晶全氟材料製成,可用於含氟、氯、氧的電漿環境,對於酸性及溶劑類也具有優異的耐藥性。 5033 / 5035E 硬度  (Shore A) 80 / 73 耐熱基準值 (°C) 230 高氟型產品,強化耐化特性、降低particles生成問題,大幅延長一般FKM O-Ring產品密封壽命具有更佳的性價比。

♦ 表面處理能力-表面處理能力影響O-ring橡膠平整度,表面愈光滑,較不易受電漿轟擊,因而能減少微粒產生                       Surface Roughness Comparison

♦ 耐電漿特性-可承受長時間的電漿轟擊,不易產生微粒(Particles),釋出的氣體(Outgassing)也較少                                                  Weight Loss Comparison

♦ 耐熱特性-在高溫製程下(可達310℃)仍能維持低熱膨脹係數及低壓縮永久形變,保持極佳橡膠密封能力。                               Comparison of Heat Resistance

♦ 耐藥特性-對乙醚、胺類、酮類、氧化劑、有機溶劑、燃料、酸、鹼…等大部份藥品,皆有極佳的穩定性。                          Comparison of Chemical Resistance

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