電子報-正負電自動平衡-particle free靜電消除設備

2024-05-24
NRD.png

無Particles產生、正負電自動平衡

 節電/  減碳Alpha靜電消除設備

Alpha Ionizer vs

Corona Ionizer

節電能力比較

*以安裝1,000 pcs Ionizer計算

NRD P-2001 Alpha Ionizer

by NRD

Corona高壓針尖放電靜電消除器

A廠商

BBB.png

AAAA.png

不銹鋼Stainless Steel材質

無電荷殘餘-正、負電完全平衡

ABS chassis塑膠材質

正、負電不完全中和可能有電荷殘留

Alpha IonizerCorona Ionizer A廠商

Ionizer安裝數量

1,000支1,000支

消耗功率(Watt/pcs)

0

33.5 kW (1,000 pcs消耗功率)

年度耗電量(kW･h) / @8,760 Hours

0

289,440 kW･h

年度電費 @NT$ 3/每度電費計算

0

NT$ 868,000

Particles產生

不產生Particles

產生Particles

Alpha Ionizer半導體製程靜電消除應用

123.png1234.png12314.png電子報-節電減碳_Particles free靜電消除設備_01_cr.jpg

曝光/光罩清洗製程/光罩儲放

Alpha Ionizer靜電消除

光罩清洗製程/

Alpha Ionizer靜電消除

晶圓Spin Rinse Dry製程

Alpha Ionizer靜電消除

爐管設備靜電消除

Alpha Ionizer靜電消除

12345.png13214135.png12312412.png14124114.png

SEM / AFM檢查靜電消除

IC封裝Wafer De-taping

Alpha Ionizer靜電消除

MultiTest Handler

Alpha Ionizer靜電消除

PVD設備EFEM晶圓傳送

Alpha Ionizer靜電消除

電子報-節電減碳_Particles free靜電消除設備_01_cr1.jpg電子報-節電減碳_Particles free靜電消除設備_01_cr4.jpg電子報-節電減碳_Particles free靜電消除設備_01_cr5.jpg

P-2001 Alpha Ionizer / 4 ~144 inches各式長度

加裝CDA氣體可進行長距離靜電消除效率

不銹鋼材質可對應半導體潔淨環境應用

1U400 / 2U500 / P-204微型Alpha Ionizer

狹窄空間、或置入機台內載具靜電消除

P-2021 P-2031 Alpha Ionizer

適用N2、CDA氣體靜電消除

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