PartSens表面Particles潔淨度檢測主要目的： | |
- (1) 對無塵室製程環境Particles潔淨度與污染源檢測。
- (2) 產品表面潔淨等級評定(Surface Cleanliness of Particles)。
- (3) 驗證工作區/ 製程設備在生產前/後的表面Particles潔淨度。
- (4) 對工作區/製程設備在清潔後的表面清潔效率評鑑。
- (5) 設定正確Operator對工作區/製程設備的清潔週期。
| 提供表面Particles檢測展示 測試(Demo Test)歡迎來電安排 ! |
應用案例 (Application Note)：無塵室 光罩區工作桌落塵評估 |
 | 目的：預防光罩貼膜作業的落塵污染 檢測方式： 檢測無塵室光罩貼膜區工作台的落塵情況，置放Pad 在工作台的光罩操作區域 (P1 ~P4) 四個位置點，進行 24小時取樣，再以PartSens檢測PAD取樣片(Pad直徑36 mm有效檢測面積2.68 cm2 )，分析工作台的落塵數值並紀錄。 |
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檢測值 : 
| 潔淨評估分析： 工作桌P2、P4位置點是靠近操作員的位置，比較P2、P4位置作業區Particles數量遠高於工作桌中央區域P1、P3位置點，此較高的Particles應是由操作人員所產生。 改善作法： - (1) 作業前進行工作桌清潔擦拭。
- (2) 光罩及光罩膜在工作桌中央區域夾取操作、人員操
作動作輕微及避免交談。
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無塵室中對產品造成污染源來自： 人員、手套、無塵服、工作台/ 產品暫存區/ 機台設備…等 
| 檢測範圍： 非金屬性質 2 µm ~ 3000 µm 金屬性質 25 µm ~ 3000 µm 纖維性質 50 µm ~ 3000 µm 
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