電子報- Particles監測應用-PartSens_無塵工作台表面潔淨度確效

2025-06-23

Application Note

PartSens表面潔淨度檢測設備

無塵工作台表面潔淨度確效

                                                                                                                                                                                        

PartSens表面Particles潔淨度檢測主要目的：

  • (1) 對無塵室製程環境Particles潔淨度與污染源檢測。
  • (2) 產品表面潔淨等級評定(Surface Cleanliness of Particles)。
  • (3) 驗證工作區/ 製程設備在生產前/後的表面Particles潔淨度。
  • (4) 對工作區/製程設備在清潔後的表面清潔效率評鑑。
  • (5) 設定正確Operator對工作區/製程設備的清潔週期。

提供表面Particles檢測展示

測試(Demo Test)歡迎來電安排 !

應用案例 (Application Note)：無塵室 光罩區工作桌落塵評估

PARTSENS.png

目的：預防光罩貼膜作業的落塵污染

檢測方式：

檢測無塵室光罩貼膜區工作台的落塵情況，置放Pad

在工作台的光罩操作區域 (P1 ~P4) 四個位置點，進行

24小時取樣，再以PartSens檢測PAD取樣片(Pad直徑36 mm有效檢測面積2.68 cm2 )，分析工作台的落塵數值並紀錄。

檢測值 :

PARTSENS2.png

潔淨評估分析：

工作桌P2、P4位置點是靠近操作員的位置，比較P2、P4位置作業區Particles數量遠高於工作桌中央區域P1、P3位置點，此較高的Particles應是由操作人員所產生。

改善作法：

  • (1) 作業前進行工作桌清潔擦拭。
  • (2) 光罩及光罩膜在工作桌中央區域夾取操作、人員操
          作動作輕微及避免交談。
__________________________                                                                                                                                           

無塵室中對產品造成污染源來自：

人員、手套、無塵服、工作台/ 產品暫存區/ 機台設備…等                 

Application Note-表面Particles潔淨度檢測_01_cr1.jpg

檢測範圍：

非金屬性質     2 µm ~ 3000 µm

金屬性質      25 µm ~ 3000 µm

纖維性質      50 µm ~ 3000 µm

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