Application Note

PartSens表面潔淨度檢測

Coater設備&製程環境表面潔淨度檢測

PartSens表面Particles潔淨度檢測主要目的：

提供表面Particles檢測展示

測試(Demo Test)歡迎來電安排 !

• 1. 對無塵室製程環境Particles潔淨度與污染源檢測。
• 2. 產品表面潔淨等級評定(Surface Cleanliness of Particles)。
• 3. 驗證工作區/ 製程設備在生產前/後的表面Particles潔淨度。
• 4. 對工作區/製程設備在清潔後的表面清潔效率評鑑。
• 5. 設定正確Operator對工作區/製程設備的清潔週期。

清潔前檢測

清潔後檢測

表面Particle檢測目的：

Coater 設備Hot Plate落塵污染檢測，分析Particle Size分佈，根據檢測Particles數據判斷可能的污染來源，做清潔方式及清潔頻率之參考依據，為有效改進作業區/設備內潔淨度及降低產品不良。

檢測方式：

Hot Plate區域 (P1 ~P3)位置點，以PartSens檢測PAD取樣片(採樣4次有效檢測面積10.75 cm² )，檢測落塵數值並紀錄

潔淨評估分析及建議：

• Coater Hot Plate -11 P1是下方隔板與P3是上方隔板，較P2 (Wafer Stage) 聚集更多 Particles；其中 > 100um particles 明顯是由外部進入
• Coater Hot Plate下層Hot Plate 位置較低，容易沉積

較多 particles

• 設備內部、周圍環境須定時清潔，作業人員無塵服

要確認潔淨度、Particles沾附以及穿著次數與清潔頻率

 (4) Air Shower必須定期清潔，並評估清潔頻率與清潔方法

檢測範圍：

非金屬性質     2 µm ~ 3000 µm

金屬性質      25 µm ~ 3000 µm

纖維性質      50 µm ~ 3000 µm